文献
J-GLOBAL ID:200902000079347894
整理番号:93A0774146
The concept of local work cells as the key element for computer automated process data logging and data management in the micro-electronic production industry.
著者 (1件):
MESSER K H
(Mikroelektronik GmbH, Petershausen)
資料名:
Proceedings. IEEE/CPMT International Electronics Manufacturing Technology Symosium
(Proceedings. IEEE/CPMT International Electronics Manufacturing Technology Symosium)
巻:
12th
ページ:
26-33
発行年:
1992年
JST資料番号:
T0858A
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)