文献
J-GLOBAL ID:200902000090682360
整理番号:82A0334676
VLSI装置のための新しいくちばし無しのフィールドアイソレーション技術
A new bird’s-beak free field isolation technology for VLSI devices.
著者 (3件):
KUROSAWA K
(Toshiba Corp., Kawasaki)
,
SHIBATA T
(Toshiba Corp., Kawasaki)
,
IIZUKA H
(Toshiba Corp., Kawasaki)
資料名:
Technical Digest. International Electron Devices Meeting
(Technical Digest. International Electron Devices Meeting)
巻:
1981
ページ:
384-387
発行年:
1981年
JST資料番号:
C0829B
ISSN:
0163-1918
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)