文献
J-GLOBAL ID:200902000132492370
整理番号:87A0555738
いろいろな方法で作製されたふっ素添加非晶質シリコンにおけるふっ素合体作用
Fluorine-incorporation scheme in fluorinated amorphous silicon prepared by various methods.
著者 (3件):
KUMEDA M
(Kanazawa Univ., Kanazawa, JPN)
,
TAKAHASHI Y
(Kanazawa Univ., Kanazawa, JPN)
,
SHIMIZU T
(Kanazawa Univ., Kanazawa, JPN)
資料名:
Physical Review. B. Condensed Matter and Materials Physics
(Physical Review. B. Condensed Matter and Materials Physics)
巻:
36
号:
5
ページ:
2713-2719
発行年:
1987年08月15日
JST資料番号:
D0746A
ISSN:
1098-0121
CODEN:
PRBMDO
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)