文献
J-GLOBAL ID:200902001862491716
整理番号:85A0034432
微小変位測定制御用の電気光学検出器
An electro-optical sensor for microdisplacement measurement and control.
著者 (2件):
TANWAR L S
(Physikalisch Technische Bundesanstalt, FRG)
,
KUNZMANN H
(Physikalisch Technische Bundesanstalt, FRG)
資料名:
Journal of Physics. E. Scientific Instruments
(Journal of Physics. E. Scientific Instruments)
巻:
17
号:
10
ページ:
864-866
発行年:
1984年10月
JST資料番号:
C0354B
ISSN:
0022-3735
CODEN:
JPSIAE
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)