文献
J-GLOBAL ID:200902001898105340
整理番号:86A0449304
高分解能電子顕微鏡のためのイオンビームスパッタリングの基礎特性
Fundamental ion beam sputtering characteristics for high resolution electron microscopy.
著者 (4件):
KANAYA K
(Kogakuin Univ., Tokyo)
,
BABA N
(Kogakuin Univ., Tokyo)
,
MURANAKA Y
(Hamamatsu Univ. School of Medicine)
,
ADACHI K
(Univ. Tokyo)
資料名:
工学院大学研究報告
(Research Reports of Kogakuin University)
号:
60
ページ:
74-80
発行年:
1986年04月
JST資料番号:
F0169A
ISSN:
0368-5098
CODEN:
KDKHA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)