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著者 (3件)：
資料名：
巻： EFM-87 号： 9-15 ページ： 19-29 発行年： 1987年06月23日
JST資料番号： Z0970A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902001935003090
整理番号：87A0377340
CZシリコン中の酸素析出物の核成形過程
Nucleation process of oxygen precipitate in silicon crystal by CZ method.
島貫康
(三菱金属 中研)
,
降矢久
(三菱金属 中研)
,
鈴木勇
(三菱金属 中研)
資料名：
電気学会電子材料研究会資料
(電気学会研究会資料)
巻： EFM-87 号： 9-15 ページ： 19-29 発行年： 1987年06月23日
JST資料番号： Z0970A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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