文献
J-GLOBAL ID:200902002032617209
整理番号:91A0716059
薄膜のイオンクラスタビーム蒸着
Ion cluster beam deposition of thin films.
著者 (7件):
BROWN W L
(AT&T Bell Lab., NJ, USA)
,
JARROLD M F
(AT&T Bell Lab., NJ, USA)
,
MCEACHERN R L
(AT&T Bell Lab., NJ, USA)
,
SOSNOWSKI M
(New Jersey Inst. Technology, NJ, USA)
,
TAKAOKA G
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
USUI H
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
YAMADA I
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻:
59/60
号:
Pt 1
ページ:
182-189
発行年:
1991年07月
JST資料番号:
H0899A
ISSN:
0168-583X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)