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著者 (3件)：
資料名：
巻： 26 号： 12 ページ： 904-912 発行年： 1983年12月
JST資料番号： G0194A ISSN： 0559-8516 CODEN： SHINA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902015540656354
整理番号：84A0499694
励起中性粒子検出法を用いた指向性真空計の研究
荒川一郎
(東大生産技研)
,
KIM M T
(東大生産技研)
,
辻泰
(東大生産技研)
資料名：
真空
(Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 26 号： 12 ページ： 904-912 発行年： 1983年12月
JST資料番号： G0194A ISSN： 0559-8516 CODEN： SHINA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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