文献
J-GLOBAL ID:200902015569834871
整理番号:89A0193901
大面積用MeVイオン注入器の応用
An MeV-ion implanter for large area applications.
著者 (5件):
HALLE ́N A
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
INGEMARSSON P A
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
HAKANSSON P
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
SUNDQVIST B U R
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
POSSNERT G
(Svedberg Lab., Uppsala, SWE)
資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻:
36
号:
3
ページ:
345-349
発行年:
1989年03月
JST資料番号:
H0899A
ISSN:
0168-583X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)