文献
J-GLOBAL ID:200902015594742078
整理番号:83A0189197
多孔性薄膜における吸着応力の起因
On the origin of adsorption stress in thin porous films.
著者 (1件):
HIRSCH E H
(Electronics Research Lab. Dep. Defence, Australia)
資料名:
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻:
15
号:
10
ページ:
1991-2002
発行年:
1982年10月14日
JST資料番号:
B0092B
ISSN:
0022-3727
CODEN:
JPAPBE
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)