文献
J-GLOBAL ID:200902015596778410
整理番号:89A0470221
プラズマ促進化学蒸着により成長させたダイヤモンド膜の摩擦・摩耗特性
Tribological properties of diamond films grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition.
著者 (4件):
WONG M S
(Northwestern Univ., IL, USA)
,
MEILUNAS R
(Northwestern Univ., IL, USA)
,
ONG T P
(Northwestern Univ., IL, USA)
,
CHANG R P H
(Northwestern Univ., IL, USA)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
54
号:
20
ページ:
2006-2008
発行年:
1989年05月15日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)