文献
J-GLOBAL ID:200902015604194678
整理番号:82A0097460
(001)InPの化学エッチング特性
Chemical etching characteristics of (001)InP.
著者 (2件):
ADACHI S
(Musashino Electrical Communication Lab., Tokyo)
,
KAWAGUCHI H
(Musashino Electrical Communication Lab., Tokyo)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
128
号:
6
ページ:
1342-1349
発行年:
1981年06月
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)