文献
J-GLOBAL ID:200902015616863966
整理番号:88A0070791
CVDプロセスにおける三次元輸送現象
On three-dimensional transport phenomena in CVD processes.
著者 (3件):
RHEE S
(Massachusetts Inst. Technology, MA, USA)
,
SZEKELY J
(Massachusetts Inst. Technology, MA, USA)
,
ILEGBUSI O J
(Massachusetts Inst. Technology, MA, USA)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
134
号:
10
ページ:
2552-2559
発行年:
1987年10月
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)