文献
J-GLOBAL ID:200902015643594870
整理番号:88A0550054
タングステンミクロ構造のレーザCVDにおける横成長速度
Lateral growth rates in laser CVD of tungsten microstructures.
著者 (4件):
SZOERE ́NYI T
(Johannes-Kepler-Univ. Linz, AUT)
,
PIGLMAYER K
(Johannes-Kepler-Univ. Linz, AUT)
,
ZHANG G Q
(Johannes-Kepler-Univ. Linz, AUT)
,
BAEUERLE D
(Johannes-Kepler-Univ. Linz, AUT)
資料名:
Surface Science
(Surface Science)
巻:
202
号:
3
ページ:
442-456
発行年:
1988年08月
JST資料番号:
C0129B
ISSN:
0039-6028
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)