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著者 (4件)：
資料名：
巻： 29th ページ： 31-36 発行年： 1985年12月05日
JST資料番号： F0108B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902015662808392
整理番号：86A0143854
3次元フォトレジスト形状シミュレータTRIPS-I
Three-dimensional photoresist image simulator TRIPS-I.
石垣明美
(日立)
,
松沢敏晴
(日立)
,
伊藤鉄男
(日立)
,
角南英夫
(日立)
資料名：
半導体・集積回路技術シンポジウム講演論文集
(Proceedings of the Symposium on Semiconductors and Integrated Circuits Technology)
巻： 29th ページ： 31-36 発行年： 1985年12月05日
JST資料番号： F0108B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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