文献
J-GLOBAL ID:200902015708001472
整理番号:86A0266909
Ag2Se/GeSe2無機レジスト系でのAg拡散
Silver diffusion in Ag2Se/GeSe2 inorganic resist system.
著者 (4件):
POLASKO K J
(Stanford Univ., California)
,
PEASE R F W
(Stanford Univ., California)
,
TSAI C C
(Xerox, California)
,
CAGAN M R
(Xerox, California)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
4
号:
1
ページ:
418-421
発行年:
1986年01月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)