文献
J-GLOBAL ID:200902015713890501
整理番号:83A0151923
けい素の窒化に及ぼすFeとH2の複合効果
The combined effects of Fe and H2 on the nitridation of silicon.
著者 (1件):
SHAW N J
(Lewis Research Center National Aeronautical and Space Administration, Ohio)
資料名:
Journal of Materials Science Letters
(Journal of Materials Science Letters)
巻:
1
号:
8
ページ:
337-340
発行年:
1982年08月
JST資料番号:
D0919B
ISSN:
0261-8028
CODEN:
JMTSAS
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)