文献
J-GLOBAL ID:200902015723043351
整理番号:86A0138126
引かき試験法を用いたTiN被覆の付着力の研究
TiN coating adhesion studies using the scratch test method.
著者 (4件):
VALLI J
(Technical Research Centre of Finland)
,
MAEKELAE U
(Technical Research Centre of Finland)
,
MATTHEWS A
(Univ. Hull, United Kingdom)
,
MURAWA V
(Univ. Hull, United Kingdom)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
3
号:
6
ページ:
2411-2414
発行年:
1985年11月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)