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文献
J-GLOBAL ID:200902015734113106   整理番号:87A0034455

SiC(0001)とSiC(0001)表面酸化の比較研究

Comparative oxidation studies of SiC(0001) and SiC(0001) surfaces.
著者 (4件):
MUEHLHOFF L
(Univ. Pittsburgh, PA, USA)
BOZACK M J
(Univ. Pittsburgh, PA, USA)
CHOYKE W J
(Westinghouse Research & Development center, PA, USA)
YATES J T JR
(Univ. Pittsburgh, PA, USA)

資料名:
Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)

巻: 60  号:ページ: 2558-2563  発行年: 1986年10月01日 
JST資料番号: C0266A  ISSN: 0021-8979  CODEN: JAPIAU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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