文献
J-GLOBAL ID:200902019031549013
整理番号:90A0714842
Soft x-ray resist characterization: Studies with a laser plasma x-ray source.
著者 (3件):
KUBIAK G D
(Sandia National Lab., CA)
,
OUTKA D A
(Sandia National Lab., CA)
,
ZEIGLER J M
(Sandia National Lab., NM)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
1263
ページ:
272-281
発行年:
1990年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)