文献
J-GLOBAL ID:200902023120839561
整理番号:92A0191232
2cm深さと3cm深さの各TM010空胴共振器を用いるキロワット以上のヘリウムマイクロ波誘導プラズマの特性評価
Characteristics of a Kilowatt-Plus Helium Microwave-Induced Plasma Utilizing 2- and 3-cm-Depth TM010 Resonator Cavities.
著者 (2件):
WU M
(Northern Illinois Univ., Illinois)
,
CARNAHAN J W
(Northern Illinois Univ., Illinois)
資料名:
Applied Spectroscopy
(Applied Spectroscopy)
巻:
46
号:
1
ページ:
162-168
発行年:
1992年01月
JST資料番号:
A0429A
ISSN:
0003-7028
CODEN:
APSPA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)