文献
J-GLOBAL ID:200902051199134901
整理番号:88A0539463
ポリスチレン,ポリプロピレンおよびポリ(エチレンテレフタレート)の薄膜のアルゴンおよび酸素によるスパッタエッチング
Argon and oxygen sputter etching of polystyrene, polypropylene, and poly(ethylene terephthalate) thin films.
著者 (3件):
GRANT J L
(3M Corporate Research, MN, USA)
,
DUNN D S
(3M Corporate Research, MN, USA)
,
MCCLURE D J
(3M Corporate Research, MN, USA)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
6
号:
4
ページ:
2213-2220
発行年:
1988年07月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)