文献
J-GLOBAL ID:200902051359874427
整理番号:84A0450741
多結晶性シリコンにおける粒界不純物効果の決定
Determination of grain boundary impurity effects in polycrystalline silicon.
著者 (2件):
KAZMERSKI L L
(Solar Energy Research Inst., Colorado)
,
DICK J R
(Solar Energy Research Inst., Colorado)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
2
号:
2 Pt 2
ページ:
1120-1122
発行年:
1984年04月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)