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著者 (5件)：
資料名：
巻： 208 号： 1 ページ： 33-37 発行年： 1992年02月10日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902051405755942
整理番号：92A0338769
Al/W76N24/Auメタライゼーションの熱安定性と破壊機構
Thermal stability and the failure mechanism of the Al/W76N24/Au metallization.
POKELA P J
(California Inst. Technology, CA, USA)
,
KOLAWA E
(California Inst. Technology, CA, USA)
,
RUIZ R
(Jet Propulsion Lab., CA, USA)
,
REID J S
(California Inst. Technology, CA, USA)
,
NICOLET M-A
(California Inst. Technology, CA, USA)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 208 号： 1 ページ： 33-37 発行年： 1992年02月10日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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