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文献
J-GLOBAL ID:200902076672112387   整理番号:83A0449694

シリコン中のp-n接合の陽極酸化による保護

UEber die Passivierung von p-n-UEbergaengen in Silizium durch anodische Oxydation.
著者 (3件):
MENDE G
(Zentralinst. Kernforschung, D.D.R.)
BUTTER K-D
(Zentralinst. Kernforschung, D.D.R.)
SCHMIDT B
(Zentralinst. Kernforschung, D.D.R.)

資料名:
Thin Solid Films  (Thin Solid Films)

巻: 102  号:ページ: 65-69  発行年: 1983年04月08日 
JST資料番号: B0899A  ISSN: 0040-6090  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: ドイツ語 (DE)
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