文献
J-GLOBAL ID:200902076672112387
整理番号:83A0449694
シリコン中のp-n接合の陽極酸化による保護
UEber die Passivierung von p-n-UEbergaengen in Silizium durch anodische Oxydation.
著者 (3件):
MENDE G
(Zentralinst. Kernforschung, D.D.R.)
,
BUTTER K-D
(Zentralinst. Kernforschung, D.D.R.)
,
SCHMIDT B
(Zentralinst. Kernforschung, D.D.R.)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
102
号:
1
ページ:
65-69
発行年:
1983年04月08日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
ドイツ語 (DE)