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文献
J-GLOBAL ID:200902131021631506   整理番号:98A0282921

ダイナミックイオンミキシング法によるTi-N系薄膜の形成とその機械的性質

Formation of Ti-N Thin Films Prepared by Dynamic Ion Mixing Technique and Their Mechanical Properties.
著者 (6件):
松室昭仁
(名古屋大 工)
林敏行
(名古屋大 大学院)
池田修
(名古屋大 大学院)
高橋満雄
(名古屋大 大学院)
松村睦生
(名古屋大 大学院)
山口勝美
(名古屋大 工)

資料名:
日本機械学会論文集 A編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series A)

巻: 64  号: 618  ページ: 402-408  発行年: 1998年02月 
JST資料番号: F0227B  ISSN: 0387-5008  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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