文献
J-GLOBAL ID:200902131044586885
整理番号:96A0846770
ガラス基板上のIn2O3でのレーザ切断ナローギャップのガス感度特性に対する薄膜被覆の影響
Influence of thin film coatings on the gas sensitivity properties of narrow laser cut gap in In2O3 on glass substrate.
著者 (6件):
VAIVARS G
(Univ. Latvia, Riga, SUN)
,
KLEPERIS J
(Univ. Latvia, Riga, SUN)
,
ZUBKANS J
(Univ. Latvia, Riga, SUN)
,
VITINS G
(Univ. Latvia, Riga, SUN)
,
LIBERTS G
(Univ. Latvia, Riga, SUN)
,
LUSIS A
(Univ. Latvia, Riga, SUN)
資料名:
Sensors and Actuators. B. Chemical
(Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻:
33
号:
1/3
ページ:
173-177
発行年:
1996年07月
JST資料番号:
T0967A
ISSN:
0925-4005
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)