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著者 (5件)：
資料名：
号： 409 ページ： 423-426 発行年： 1997年
JST資料番号： D0071C ISSN： 0094-243X 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902131051538551
整理番号：98A0272565
リソグラフィーアプリケーション用ガスパフZピンチプラズマ装置を使用するパルスソフトX線源の研究
Study of Pulsed Soft X-ray Source Employing a Gas-puff Z-pinch Plasma Device For Lithography Applications.
ZHANG G X
(Nanyang Technological Univ., Singapore)
,
GUO X M
(Nanyang Technological Univ., Singapore)
,
LUO C M
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
,
LEE S
(Nanyang Technological Univ., Singapore)
,
FENG X
(Nanyang Technological Univ., Singapore)
資料名：
AIP Conference Proceedings
(AIP Conference Proceedings)
号： 409 ページ： 423-426 発行年： 1997年
JST資料番号： D0071C ISSN： 0094-243X 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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