文献
J-GLOBAL ID:200902165024631843
整理番号:96A0633535
CVD κ-Al2O3多層の微構造と性能
Microstructure and performance of CVD k-Al2O3 multilayers.
著者 (2件):
HALVARSSON M
(Chalmers Univ. Technol., Goeteborg, SWE)
,
VUORINEN S
(Seco Tools AB, Fagersta, SWE)
資料名:
Materials Science & Engineering. A. Structural Materials: Properties, Microstructure and Processing
(Materials Science & Engineering. A. Structural Materials: Properties, Microstructure and Processing)
巻:
209
号:
1/2
ページ:
337-344
発行年:
1996年05月
JST資料番号:
D0589B
ISSN:
0921-5093
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)