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資料名：
巻： 78 号： 15 ページ： 2151-2153 発行年： 2001年04月09日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902165103081387
整理番号：01A0565036
スパッタ薄膜中のアルゴン包有物とモリブデン電界放出アレイに対するガスの効果
Argon inclusion in sputtered films and the effect of the gas on molybdenum field emitter arrays.
CHALAMALA B R
(Motorola, Inc., Arizona)
,
REUSS R H
(Motorola, Inc., Arizona)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 78 号： 15 ページ： 2151-2153 発行年： 2001年04月09日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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