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文献
J-GLOBAL ID:200902165106422916   整理番号:00A0772103

分子ビームエピタクシーによるIII-V族半導体成長時のモルフォロジーのフィードバック制御

Feedback Control of Morphology During III-V Semiconductor Growth by Molecular Beam Epitaxy.
著者 (5件):
KOSUT R L
(SC Solutions, Inc., CA)
CAFLISCH R
(UCLA, CA)
GYURE M
(HRL Lab., CA)
MEYER D G
(Univ. Colorado, CO)
ENGELMANN A
(Univ. Colorado, CO)

資料名:
Proceedings of the IEEE Conference on Decision & Control  (Proceedings of the IEEE Conference on Decision & Control)

巻: 38th  号: Vol.4  ページ: 4204-4209  発行年: 1999年 
JST資料番号: A0744B  ISSN: 0191-2216  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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