文献
J-GLOBAL ID:200902165151907130
整理番号:94A0731382
Optical anisotropy of singular and vicinal Si-SiO2 interfaces and H-terminated Si surfaces.
著者 (5件):
YASUDA T
(North Carolina State Univ., North Carolina)
,
ASPNES D E
(North Carolina State Univ., North Carolina)
,
LEE D R
(North Carolina State Univ., North Carolina)
,
BJORKMAN C H
(North Carolina State Univ., North Carolina)
,
LUCOVSKY G
(North Carolina State Univ., North Carolina)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
12
号:
4 Pt 1
ページ:
1152-1157
発行年:
1994年07月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)