文献
J-GLOBAL ID:200902165207597890
整理番号:95A0933690
Common Path Interferometer for Flat Surface Measurement.
著者 (3件):
OKADA K
(Chiba Univ., Chiba, JPN)
,
KAWABATA S
(Chiba Univ., Chiba, JPN)
,
HONDA T
(Chiba Univ., Chiba, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
2576
ページ:
198-203
発行年:
1995年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)