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資料名：
巻： 42 号： 12 ページ： 888 発行年： 2003年12月20日
JST資料番号： F0163A ISSN： 1340-2625 CODEN： MTERE2 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902212376827932
整理番号：04A0046374
電子顕微鏡法による材料開発のための微細構造研究最前線(3) Si(001)基板にエピ成長させたβ-FeSi2スパッタ膜
板倉賢
(九大 大学院総合理工学研究院)
,
友清芳二
(九大 大学院総合理工学研究院)
,
桑野範之
(九大 産学連携セ)
資料名：
まてりあ
(Materia Japan)
巻： 42 号： 12 ページ： 888 発行年： 2003年12月20日
JST資料番号： F0163A ISSN： 1340-2625 CODEN： MTERE2 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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