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著者 (5件)：
資料名：
巻： 22nd Vol.2 ページ： 1107-1110 発行年： 2009年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902212406577162
整理番号：09A0602276
再構成可能な高周波集積回路向けのてこ式相補性金属酸化膜半導体-微小電気機械システム(CMOS-MEMS)プローブ
LEVER-BASED CMOS-MEMS PROBES FOR RECONFIGURABLE RF IC’S
LIU J.
(Carnegie Mellon Univ., Pennsylvania, USA)
,
NOMAN M.
(Carnegie Mellon Univ., Pennsylvania, USA)
,
BAIN J. A.
(Carnegie Mellon Univ., Pennsylvania, USA)
,
SCHLESINGER T. E.
(Carnegie Mellon Univ., Pennsylvania, USA)
,
FEDDER G. K.
(Carnegie Mellon Univ., Pennsylvania, USA)
資料名：
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 22nd Vol.2 ページ： 1107-1110 発行年： 2009年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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