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著者 (8件)：
資料名：
巻： 44th ページ： 110 発行年： 2003年11月12日
JST資料番号： L1308A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902212468424575
整理番号：03A0847691
金負イオン注入により熱酸化膜中に形成したナノ粒子の分布深さと注入エネルギーの関係
辻博司
(京大 大学院工学研究科)
,
洗暢俊
(京大 大学院工学研究科)
,
上野和也
(京大 大学院工学研究科)
,
松本卓哉
(京大 大学院工学研究科)
,
足立浩一郎
(シャープ デバイス研)
,
小滝浩
(シャープ デバイス研)
,
後藤康仁
(京大 大学院工学研究科)
,
石川順三
(京大 大学院工学研究科)
資料名：
真空に関する連合講演会講演予稿集
巻： 44th ページ： 110 発行年： 2003年11月12日
JST資料番号： L1308A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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