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著者 (9件)：
資料名：
巻： 37 号： 5 ページ： 384-388 発行年： 2009年05月15日
JST資料番号： X0335A ISSN： 0387-0200 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902212487528144
整理番号：09A0519507
積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術
Debris-Free Low-Stress Dicing Assisted by Pulsed Laser for Multi-Layered MEMS
鶴見洋輔
(大阪大 レーザーエネルギー学研究セ)
,
井澤友策
(大阪大 レーザーエネルギー学研究セ)
,
福士秀幸
(東北大 大学院工学研究科)
,
吉田実
(近畿大)
,
江刺正喜
(東北大 大学院工学研究科)
,
宮永憲明
(大阪大 レーザーエネルギー学研究セ)
,
田中秀治
(東北大 大学院工学研究科)
,
藤田雅之
(大阪大 レーザーエネルギー学研究セ)
,
藤田雅之
(レーザー技術総合研)
資料名：
レーザー研究
(レーザー学会誌)
巻： 37 号： 5 ページ： 384-388 発行年： 2009年05月15日
JST資料番号： X0335A ISSN： 0387-0200 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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