文献
J-GLOBAL ID:200902212493006184
整理番号:06A0751107
脆性材料で高品質微小構造物を製作する微小USAL(微小超音波支援ラッピング)法
Micro-USAL technique for the manufacture of high quality microstructures in brittle materials
著者 (3件):
ZHANG C.
(LFM, Univ. of Bremen, Bremen, DEU)
,
BRINKSMEIER E.
(LFM, Univ. of Bremen, Bremen, DEU)
,
RENTSCH R.
(LFM, Univ. of Bremen, Bremen, DEU)
資料名:
Precision Engineering
(Precision Engineering)
巻:
30
号:
4
ページ:
362-372
発行年:
2006年10月
JST資料番号:
A0734B
ISSN:
0141-6359
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)