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著者 (6件)：
資料名：
巻： 81 号： 9 ページ： 1109-1113 発行年： 2007年05月25日
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902212504818526
整理番号：07A0473839
高プラズマ電位のグリッド支援マグネトロンシステムを用いたTiN膜の堆積中におけるイオン照射特性
Ion-bombardment characteristics during deposition of TiN films using a grid-assisted magnetron system with enhanced plasma potential
KUDLACEK P.
(Dep. of Physics, Univ. of West Bohemia, Univerzitni 22, 306 14 Plzen, CZE)
,
VLCEK J.
(Dep. of Physics, Univ. of West Bohemia, Univerzitni 22, 306 14 Plzen, CZE)
,
HOUSKA J.
(Dep. of Physics, Univ. of West Bohemia, Univerzitni 22, 306 14 Plzen, CZE)
,
HAN Jeon G.
(Center for Advanced Plasma Surface Technol. (CAPST), Sungkyunkwan Univ., 300 Chunchun-dong, Jangan-gu, Suwon 440-746 ...)
,
JUNG Min J.
(Center for Advanced Plasma Surface Technol. (CAPST), Sungkyunkwan Univ., 300 Chunchun-dong, Jangan-gu, Suwon 440-746 ...)
,
KIM Yong M.
(Center for Advanced Plasma Surface Technol. (CAPST), Sungkyunkwan Univ., 300 Chunchun-dong, Jangan-gu, Suwon 440-746 ...)
資料名：
Vacuum
(Vacuum)
巻： 81 号： 9 ページ： 1109-1113 発行年： 2007年05月25日
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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