文献
J-GLOBAL ID:201602250339969557
整理番号:16A0977084
ロバストで弱いライナのための変化する損傷抵抗を用いた範囲ULK ILD材料のためのTDDBに及ぼすH_2Oの影響【Powered by NICT】
Effect of H2O on TDDB for a range of ULK ILD materials with varying damage resistance for robust and weak liners
著者 (5件):
Liniger E. G.
(IBM T.J. Watson Research Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown Heights, N.Y. 10598 2. Columbia University)
,
Laibowitz R. B.
(IBM T.J. Watson Research Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown Heights, N.Y. 10598 2. Columbia University)
,
Shaw T. M.
(IBM T.J. Watson Research Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown Heights, N.Y. 10598 2. Columbia University)
,
Cohen S. A.
(IBM T.J. Watson Research Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown Heights, N.Y. 10598 2. Columbia University)
,
Raja A.
(IBM T.J. Watson Research Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown Heights, N.Y. 10598 2. Columbia University)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
IRPS
ページ:
DI-7-1-DI-7-5
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)