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J-GLOBAL ID：200901000199285805   Update date: Jan. 30, 2024

Ono Toshiro

オノ トシロウ | Ono Toshiro
Research field  (4)： Material fabrication and microstructure control ,  Mechanics and mechatronics ,  Robotics and intelligent systems ,  Manufacturing and production engineering
Research keywords  (8)： 誘電体薄膜形成 ,  半導体加工 ,  マイクロマシン ,  薄膜 ,  プラズマ ,  MEMS ,  thin film ,  plasma
Research theme for competitive and other funds  (7)：
  • 2006 - 2011 医用システム開発
  • 2004 - 2011 キャパシタ用高誘電体薄膜の形成技術
  • 2009 - 2010 内視鏡医療トレーニングのための括約筋をもつアクティブ臓器モデルの開発
  • 2008 - 2010 Investigation of deposition process and electrical chracteristics of oxy-nitride dielectrics by using ECR sputtering
  • 2005 - 2007 Development of magnetostrictive foil with nano multilayer-hetero magnetic domain driven by lower magnetic field
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Papers (7)：
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MISC (12)：
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Patents (6)：
  • 電磁波導波管及びその結合構造
  • エッチング終点判定方法
  • 膜形成用プラズマ装置
  • X-Ray Lithography Mask and Method for Manufacturing the Same
  • Ion Shower Apparatus
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Books (3)：
  • わかる機械要素設計
    2008
  • 最新の超精密加工・成形技術と部品化プロセス技術
    技術情報協会 2001
  • 精密加工実用便覧
    日刊工業社 2000
Education (2)：
  • - 1975 Hokkaido University School of Engineering
  • - 1975 Hokkaido University Faculty of Engineering Department of Precision Engineering
Professional career (1)：
  • Doctor of Engineering (Hokkaido University)
Work history (6)：
  • 2017/04 - 2019/03 Hirosaki University Graduate School of Science and Technology
  • 2004/04 - 2017/03 - 弘前大学 教授
  • 1975/04 - 2004/03 NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 主幹研究員
  • 1975 - 2004 Senior Research Engineer, NTT Microsystem
  • 2004 - Professor, Hirosaki University
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Awards (2)：
  • 1998 - 機械振興協会賞
  • 1998 - The prize of Japan society for the Promotion of Machine industry
Association Membership(s) (7)：
精密工学会 ,  The Electrochemical Society ,  The American Vacuum Society ,  Information and Communication Engineers ,  The Institute of Electronics ,  The Japan Society of Applied Physics ,  The Japan Society for Precision Engineering
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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