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J-GLOBAL ID：200901001662559991   Update date: Jan. 31, 2024

Matuda Yoshinobu

マツダ ヨシノブ | Matuda Yoshinobu
Affiliation and department：
Nagasaki University Graduate school of Engineering

About Nagasaki University Graduate school of Engineering


Job title： Associate Professor
Homepage URL  (2)： http://www.eee.nagasaki-u.ac.jp/labs/plasma/index.html ,  http://www.eee.nagasaki-u.ac.jp/~plasma/matsuda/index.html
Research field  (4)： Thin-film surfaces and interfaces ,  Semiconductors, optical and atomic physics ,  Basic plasma science ,  Applied plasma science
Research keywords  (2)： プラズマ理工学 ,  Plasma Science and Technology
Research theme for competitive and other funds  (31)：
  • 2019 - 2022 反射電界型エネルギー分析器による基板入射イオンエネルギー分布の測定
  • 2016 - 2019 負イオンエネルギー分布計測を可能とする減速電界エネルギー分析器の開発
  • 2012 - 2015 Study on the deposition of functionalized membrane with high-molecular-weight radicals and ions during hydroicarbon plasma
  • 2009 - 2012 次世代低環境負荷白色光源の開発
  • 2011 - 2012 Establishment of a real time measurement method of carbon film deposition process and its surface modification process during plasma generated in liquid, and the clalification of these processes
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Papers (248)：
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MISC (62)：
  • Evaluation of magnetic properties of Nd-Fe-B/Ta sputtered films. 2016. 2016. 75. 19-24
  • RF magnetron sputtering of the Al-doped ZnO with off-axis inclined substrate. 2016. 2016. 75. 13-17
  • SHINOHARA Masanori, KIMURA Yasuo, NIWANO Michio, MATSUDA Yoshinobu, FUJIYAMA Hiroshi. Infrared Spectroscopic Study on Si-H Bonding Configuration on Silicon Surface. 2015. 91. 5. 329-335
  • YOSHIDA Yuta, MARUNO Noki, SHINOHARA Masanori, MATSUDA Yoshinobu, FUJIYAMA Hiroshi. Reaction analysis of liquid plasma and Self-Assembled-Monolayer, investigated with MIR-IRAS. 2013. 2013. 86. 91-94
  • SHINOHARA Masanori, MARUNO Naoki, TANIGUCHI Yujiro, YAGI Shohei, TSUMURA Takayoshi, MATSUDA Yoshinobu, FUJIYAMA Hiroshi. Infrared Spectroscopy of Hydrogen irradiation effects on Si crystal. 2013. 2013. 74. 9-12
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Books (3)：
  • ZnO Nanocrystals and Allied Materials
    springer india 2013 ISBN:9788132211594
  • 【最新】光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御」
    技術情報協会 2013 ISBN:9784861044854
  • メタルスパッタリングプラズマの高度化とその最新動向
    電気学会 メタルスパッタプラズマの高度化調査専門委員会編 2009
Lectures and oral presentations  (89)：
  • ZnO ターゲットと Cu ターゲットにおける基板入射イオンエネルギー分布関数の比較
    (プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部第26回支部大会 2022)
  • 磁化反射電界型エネルギー分析器を用いたイオンエネルギー分布関数測定に及ぼす磁界強度の影響
    (プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部第26回支部大会 2022)
  • 磁化反射電界型エネルギー分析器を用いた負イオンエネルギー分布関数測定における磁界強度の影響
    (2022 年(令和4年度)応用物理学会九州支部学術講演会 2022)
  • スパッタリング基板入射イオンエネルギー分布関数に及ぼすターゲット材料の影響
    (2022 年(令和4年度)応用物理学会九州支部学術講演会 2022)
  • Production and operational performance test of the second retarding field energy analyzer to use for measuring ion distribution function
    (The 39th Symposium on Plasma Processing/ The 34th Symposium on Plasma Science for Materials (SPP39/SPSM34) 2022)
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Works (4)：
  • 次世代低環境負荷白色光源の開発
    2009 - 2012
  • 金属添加酸化亜鉛透明導電膜スパッタ成膜過程におけるプラズマ支援効果
    2008 - 2011
  • 誘導結合プラズマ支援スパッタ法による透明導電性酸化亜鉛薄膜の作成
    2005 - 2008
  • 可能性試験「レーザ光を用いた透過光方式による血液中の炭酸ガス濃度の測定」
    2004 - 2005
Education (4)：
  • - 1987 Kyushu University
  • - 1987 Kyushu University Graduate School, Division of Integrated Science and Engineering Department of Energy Conversion Engineering
  • - 1982 Kyoto University Faculty of Science
  • - 1982 Kyoto University Faculty of Science physics
Professional career (1)：
  • Doctor of Engineering (Kyushu University)
Work history (12)：
  • 2007/04 - 現在 Nagasaki University Graduate school of Engineering Associate Professor
  • 1990 - 2006 Nagasaki University
  • 1990 - 2006 Associate Professor,Nagasaki University
  • 2006 - Nagasaki University Faculty of Engineering
  • 2006 - Associate Professor,Electrical and Electronic ,Faculty of Engineering,Nagasaki University
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Committee career (21)：
  • 2022/04 - 現在 応用物理学会九州支部 役員
  • 2014/04 - 現在 プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口地区支部 役員
  • 2017/04 - 2018/03 2017年度第33回九州山口プラズマ研究会 幹事
  • 2015/04 - 2017/03 プラズマ・核融合学会 代議員
  • 2016/05 - 2016/12 2016年度応用物理学会九州支部講演会現地実行委員会 委員(受付担当)
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Awards (10)：
  • 2005 - 電気学会優秀論文発表賞
  • 2005 - IEEJ Excellent Presentation Award
  • 2004 - 応用物理学会九州支部講演奨励賞
  • 2003 - 電気学会論文発表賞B
  • 2000 - 応用物理学会九州支部講演奨励賞
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Association Membership(s) (10)：
プラズマ・核融合学会 ,  電気学会 ,  応用物理学会 ,  日本物理学会 ,  The Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research ,  Institute of Electrical Engineers of Japan ,  The Physical Society of Japan ,  The Japan Society of Applied Physics ,  日本分光学会 ,  Spectroscopical Society of Japan
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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