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J-GLOBAL ID:200901002568470967   Update date: Nov. 30, 2023

Hiroshima Hiroshi

ヒロシマ ヒロシ | Hiroshima Hiroshi
Affiliation and department:
Homepage URL  (1): http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=H00273472
Research field  (1): Applied physics - general
Research keywords  (6): beam assisted process ,  focused ion beam ,  lithography ,  nano-fabrication ,  nanoimprint ,  electron optics
Papers (196):
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MISC (33):
  • YOUN Sung-Won, SUZUKI Kenta, HIROSHIMA Hiroshi. A Study on Development of Wafer-level Nanoimprint and Its Application to Electronics Packaging. バイオメカニクス研究センター&エレクトロニクス実装学会九州支部合同研究会. 2019. 7th (CD-ROM)
  • 鈴木健太, 尹成圓, 廣島洋. 光ナノインプリント樹脂への凝縮性ガスの溶解性の評価. エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM). 2019. 33rd
  • 鈴木聡, 鈴木聡, 鈴木健太, 廣島洋, 菅洋志. スパッタ/反応性イオンエッチングによるマイクロ流路底面へのナノ構造形成法. 日本機械学会関東支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM). 2019. 25th
  • 鈴木健太, 尹成圓, 廣島洋. PDMSレプリカモールドを使用したUVナノインプリントのパターン欠陥と離型力の評価. エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM). 2018. 32nd
  • 橋口恭平, 橋口恭平, 鈴木健太, 廣島洋, 菅洋志. 寸法制御性の良いUVナノインプリント用石英モールドの加工法の検討. エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM). 2018. 32nd
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Patents (36):
Lectures and oral presentations  (18):
  • Quick cavity filling in UV-Nanoimprint using pentafluoropropane
    (MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2007, DIGEST OF PAPERS 2007)
  • Fabrication of ultra smooth mirrors by UV-nanoimprint
    (MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2007, DIGEST OF PAPERS 2007)
  • Photo-nanoimprinting using SOFT (Sample on flexible thruster) atage
    (Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2005: 2005 International Microprocesses and Nanotechnology Conference 2005)
  • Fabrication of low line edge roughness mold by SOG replica method
    (Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2004 2004)
  • Reproducibility of photo-nanoimprint
    (Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2004 2004)
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Association Membership(s) (2):
電気学会 ,  応用物理学会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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