Sanekata Masaomi

サネカタマサオミ | Sanekata Masaomi

Affiliation and department：
Job title： Associate Professor
Homepage URL (1)： http://www.gen.t-kougei.ac.jp/physics/

Research field (4)： Applied physics - general , Applied plasma science , Applied plasma science , Nanomaterials

Research keywords (4)： High-power pulsed magnetron sputtering , Plasma spectroscopy and diagnostics , Mass spectrometry , Surface plasmon

Research theme for competitive and other funds (8)：

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Papers (25)：

Masaomi Sanekata. Development and Prospects on Multi-Component and Real-Time Analysis Method by Using a Time-of-Flight Mass Spectrometer in High Power Pulsed Magnetron Sputtering (HPPMS). SPUTTERING & PLASMA PROCESSES. 2023. 38. 1. 11-19
Eisuke Yokoyama, Masaomi Sanekata, Nobuo Nishimiya, Masahide Tona, Hiroaki Yamamoto, Keizo Tsukamoto, Kiyokazu Fuke, Keijiro Ohshimo, Fuminori Misaizu. Optical emission spectroscopy in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium. Japanese Journal of Applied Physics. 2023. 62. SL. SL1008-(7 pages)
M. Sanekata, Y. Nakagomi, M. Hirayama, H. Nishida, N. Nishimiya, M. Tona, H. Yamamoto, K. Tsukamoto, K. Fuke, K. Ohshimo, et al. Time-of-flight mass spectrometry diagnostics in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium. Journal of Applied Physics. 2022. 131. 24. 243301-(7 pages)
SANEKATA, Keizo Tsukamoto, Fuminori MiasaizuFuminori Miasaizu. Development of a Plasma Diagnostic Method for High Power Pulsed Magnetron Sputtering Using a Reflectron-Type Time-of-Flight Mass Spectrometer. Journal of the Mass Spectrometry Society of Japan. 2022. 70. 1. 30-35
Masaomi Sanekata, Hiroshi Nishida, Yuki Nakagomi, Yoshihiro Hirai, Nobuo Nishimiya, Masahide Tona, Naoyuki Hirata, Hiroaki Yamamoto, Keizo Tsukamoto, Keijiro Ohshimo, et al. Dependence of Optical Emission Spectra on Argon Gas Pressure during Modulated Pulsed Power Magnetron Sputtering (MPPMS). Plasma. 2021. 4. 2. 269-280

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Patents (1)：

Lectures and oral presentations (29)：

(レーザー誘起蛍光法を用いた)高出力マグネトロンスパッタリング(HPPMS)のプラズマ診断
(第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
深振動マグネトロンスパッタリング(DOMS)における発光遅延時間計測を用いたガス希薄化現象の解明
(第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いた深振動マグネトロンスパッタリングの多成分イオン同時計測法の開発
(第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
時間分解プラズマ分光計測を用いた深振動マグネトロンスパッタリングにおける発光遅延時間の解析
(第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023)
飛行時間質量分析計による高出力パルスマグネトロンスパッタリング(HPPMS)の多成分リアルタイム分析法の開発と展望
(日本表面真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会) 第175回定例研究会 2023)

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Education (1)：

Professional career (1)：

Work history (7)：

2022 - 現在 Tokyo Polytechnic University
2003 - 2021 Tokyo Polytechnic University
2008 - 2013 Kokushikan University School of Science and Engineering
2001 - 2003 Visiting reserach fellow, Nihon University
1999 - 2000 Research assistant, Faculty of Science and Technology, Faculty of Science and Technology

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Committee career (1)：

Awards (1)：

Association Membership(s) (7)：

日本真空表面学会 , Japan Society for Molecular Science , 応用物理学会 , 日本化学会 , 日本分光学会 , 日本物理学会 , ナノ学会

※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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