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J-GLOBAL ID:200901019380365490   Update date: Feb. 01, 2024

Heya Akira

ヘヤ アキラ | Heya Akira
Affiliation and department:
Homepage URL  (1): http://www.eng.u-hyogo.ac.jp/outline/faculty/heya/index.html
Research field  (5): Quantum beam science ,  Chemical reaction and process system engineering ,  Composite materials and interfaces ,  Nanostructure physics ,  Inorganic materials
Research keywords  (9): Atomic hydrogen annealing ,  Atomic hydrogen ,  Graphene nanoribbon ,  Catalyst ,  Chemical Vapor Deposition ,  Graphene ,  2D Materials ,  構造解析 ,  半導体薄膜
Research theme for competitive and other funds  (21):
  • 2022 - 2026 Platform for analysis of biological vesicle contents by fusion with membranes suspended over microwells
  • 2022 - 2025 Synthesis of two-dimensional aromatic compounds using hydrogen and heated catalysts and their spin device applications
  • 2019 - 2020 原子状水素を用いたEUV光用光学素子の表面汚染物の除去
  • 2018 - 2019 原子状水素アニールによる表面汚染物除去
  • 2015 - 2018 Synthesis of graphene on pentacene structure by hot mesh deposition and transfer mechanism of relativistic particles
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Papers (126):
  • Akira Heya, Koji Sumitomo. Surface Cleaning and Modification of Oxide Films by Atomic Hydrogen Annealing. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2022. 35. 4. 351-357
  • Akira HEYA, Akinori Fujibuchi, Masahiro Hirata, Kazuhiro KANDA, Yoshiaki Matsuo, Junichi INAMOTO, Koji Sumitomo. Effects of underlayer on reduction of graphene oxide through atomic hydrogen annealing and soft X-ray irradiation. Japanese Journal of Applied Physics. 2022. 62. SC. SC1028-SC1028
  • Ryo Yamasaki, Akira Heya, Naoto Matsuo, Koji Sumitomo. Surface Treatment of Aluminum Oxide Using Atomic Hydrogen Generated by Catalytic Reaction on Heated Tungsten. e-Journal of Surface Science and Nanotechnology. 2022. 21. 1. 46-54
  • Masahito Niibe, Yuichi Haruyama, Akira Heya, Seigo Ito. Soft X-ray Absorption/Emission Spectroscopy and Atomic Hydrogen Irradiation Effect of Ammonia Borane. e-Journal of Surface Science and Nanotechnology. 2022. 20. 4. 226-231
  • A. Heya, K. Kanda, R. Yamasaki, K. Sumitomo. Effects of Ge and Ni catalytic underlayers to nanographene synthesis from pentacene-based film via soft X-ray irradiation. Jpn. J. Appl. Phys. 2022. 61. SC1057
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MISC (55):
  • 春山雄一, 森本大貴, 部家彰, 住友弘二, 伊藤省吾, 横田久美子, 田川雅人. 原子状水素照射による深さ方向分析. 日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web). 2022. 35th
  • 門林大矢, 橋野開, 大嶋梓, 山口真澄, 部家彰, 住友弘二. Control of Vesicle Fusion by Biotin-Streptavidin interaction. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2021. 82nd
  • 土井響, 吉水寛人, 乾徳夫, 樫村吉晃, 大嶋梓, 山口真澄, 部家彰, 住友弘二. Suppression of ion leakage through water layer at the semiconductor substrate / lipid bilayer interface. 電気学会研究会資料(Web). 2021. OQD-21-065-071
  • 春山雄一, 部家彰, 住友弘二, 伊藤省吾. 原子状水素を用いた固体表面クリーニングへの応用. 日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web). 2021. 34th
  • 部家彰, 山田良貴, 山崎良, 神田一浩, 住友弘二. Effect of soft X-ray irradiation on polymerization reaction of pentacene precursors. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2021. 68th
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Books (8):
  • これからの蓄・省エネルギー材料の開発における機能性付与技術
    技術情報協会 2013
  • ロールtoロール事例集~プロセス応用に向けた技術課題と対策~
    情報機構 2011
  • ディスプレイと照明の材料技術 ~液晶・プラズマ・有機EL・無機EL・LED・プロジェクター
    CMC出版 2010
  • 触媒CVD(Cat-CVD)の新展開 -ラジカルを用いる新プロセス技術-
    CMC出版 2008
  • ドライプロセスによるディスプレイ・光学部材における具体的な薄膜製造コーティング技術
    情報機構 2007
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Lectures and oral presentations  (59):
  • AlOx/GeOx/a-Ge ゲートスタック構造への原子状水素アニールの効果
    (第65回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集 2019)
  • DNA/Si-MOSFETの正孔,電子伝導に関する検討
    (応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018)
  • ペンタセンとNi担持Wメッシュを用いたナノカーボン膜の作製
    (応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018)
  • AlO<sub>x</sub>/GeO<sub>x</sub>/a-Geゲートスタック構造への原子状水素アニールの効果
    (応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018)
  • Ge薄膜のFLA結晶化におけるキャップ層の効果
    (応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018)
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Education (2):
  • - 2000 Japan Advanced Institute of Science and Technology
  • - 1995 Naruto University of Education College of Education
Professional career (1):
  • 材料科学 (北陸先端科学技術大学院大学)
Work history (3):
  • 2008/04 - 現在 University of Hyogo of Engineering, Graduate School
  • 2005/07 - 2008/03 University of Hyogo of Engineering, Graduate School
  • 2000/04 - 2005/06 Industrial Research Institute of Ishikawa
Committee career (5):
  • 2017 - 現在 HWCVD プログラム委員
  • 2016 - 現在 SSDM プログラム委員
  • 2007 - 現在 Cat-CVD研究会 実行委員
  • 2006 - 現在 AMFPD プログラム委員
  • 2020/04 - 表面真空学会関西支部
Association Membership(s) (2):
The Japan Society of Vacuum and Surface Science ,  応用物理学会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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