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J-GLOBAL ID:200901032450098822   Update date: Feb. 08, 2024

Homma Tetsuya

ホンマ テツヤ | Homma Tetsuya
Affiliation and department:
Research field  (3): Electronic devices and equipment ,  Electric/electronic material engineering ,  Optical engineering and photonics
Research theme for competitive and other funds  (5):
  • 2011 - 2013 Development of A Recycling Technology for Useful Metals from Wasted FPDs, CRTs, PWBs, and Others
  • 2004 - 2005 Recycle of Silica Glass from Waste Silicate Glass/Hydrofluoric Acid, and Mechanism of Removing Metallic Icons from Silicate Glasses
  • 2001 - 2003 Research on Optical Wave Control Devices using A Fluorinated Silicon Oxide Thin-Films Formed by Selective Liquid Phase Deposition
  • 1997 - 1998 Development of Highly Efficient organic Electroluminescent Devices and Improvement of Their Stability
  • FPD・CRT・蛍光管からの有用金属回収・リサイクルに関する研究
Papers (72):
  • T. Matsumoto, T. Homma. Effect on Etch Rate and Surface Roughness of Crystal Orientation of Polycrystalline Silicon Used for Consumable Parts of Reactive Ion Etching Equipment. ECS Journal of Solid State Science and Technology. 2022. 11. 8. Online
  • T. Matsumoto, J. Kataoka, R. Saito, T. Homma. Recycling SiC Focus Rings for Reactive Ion Etching Equipment by Insertless Diffusion Bonding using Hot Isostatic Pressing. ECS Journal of Solid State Science and Technology. 2020. 9. 12. Online
  • T. Matsumoto, R. Saito, T. Homma. Improvement of Process Reproducibility and Particle Reduction for YF3 Coating by Collision Assisted Sintering Process in Reactive Ion Etching. 2020. 9. 6
  • ○H. Koizumi, K. Ooshiro, K. Soeda, T. Homma. Effect of Drying Condition of Emitting Layer Formed by Ink-Jet Coating on Optical Property and Film Morphology of Polymer-Based Organic Light-Emitting Diodes. ECS J. Solid State Science and Technology. 2019. 8. 2. R36-R41
  • H. Koizumi, J. Watabe, S. Sugiyama, H. Hirabayashi, Y. Tokuno, H. Wada, T. Homma. Properties of Ce3+ doped Y3Al5O12 phosphor nanoparticles formed by laser ablation in liquid for LEDs. ECS Journal of Solid State Science and Technology. 2018. 7. 6. R63-R69
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MISC (58):
  • 研究室紹介. 2019. 167. 24-25
  • 廃棄電子機器からの分別不要な有用金属回収技術の開発. 2015
  • 廃棄電子機器などからの有用金属回収技術. 2015
  • 廃棄FPD・CRT・蛍光管・プリント基板などからの有用金属の回収技術. 2012
  • 廃棄FPD・CRT・蛍光管・プリント基板などからの有用金属の回収技術. 2012. 18. 10. 74-79
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Patents (6):
  • 配線膜形成方法及び配線膜構造
  • 出願時:ガラス材料の回収方法および回収システム 補正後(分割):ガラス材料の回収システム
  • 銅メッキ溶液及び、それを用いた銅多層配線構造体の形成方法
  • 銅メッキ溶液、銅メッキ用前処理溶液及びそれらを用いた銅メッキ膜とその形成方法
  • 有用金属のリサイクル方法
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Lectures and oral presentations  (205):
  • 反応性イオンエッチング装置の上部電極ガス放出穴の垂直化の検討
    (第82回応用物理学会秋季学術講演会(講演予稿集, 12a-S401-4) 2021)
  • 反応性イオンエッチング装置の単結晶、多結晶シリコン部品のエッチングによる変化
    (第82回応用物理学会秋季学術講演会(講演予稿集, 12a-S401-3) 2021)
  • 無線ネットワークのノイズによる静電チャックへの影響
    (第68回応用物理学会春季学術講演会(講演予稿集, 19a-Z02-2) 2021)
  • 衝撃焼結法により形成したフッ化イットリウムのグレインサイズと組成がエッチング耐性に及ぼす影響
    (第68回応用物理学会春季学術講演会(講演予稿集,17a-Z04-4) 2021)
  • SiCフォーカスリングリサイクルのための洗浄方法の検討
    (第68回応用物理学会春季学術講演会(講演予稿集, 17a-Z04-5) 2021)
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Works (6):
  • Properties of Amplitude-to-phase Noise Conversion in Self-referencing Method using Microstructure Fibers for Carrier-envelope Phase Control
  • An Algorithm to Visualize Tool Difference Transitions in Semiconductor Fabrications
  • Normal-Dispersion Passively Mode-Locked Ytterbium-Doped Fiber Laser with a Fundamental Repetition Rate Higher than 400 MHz
  • Properties of Amplitude-to-phase Noise Conversion in Self-referencing Method using Microstructure Fibers for Carrier-envelope Phase Control
  • An Algorithm to Visualize Tool Difference Transitions in Semiconductor Fabrications
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Professional career (2):
  • 博士(工学) (東京工業大学)
  • 工学修士 (芝浦工業大学)
Work history (9):
  • 1996 - 2003 : 工学部 助教授
  • 1996 - 2003 :
  • 2003 - - : 工学部 教授
  • 1994 - 1996 :
  • 1994 - 1996 :
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Committee career (3):
  • 2010 - (社)電気設備学会 評議員,全国大会実行委員会委員
  • 2008 - (社)応用物理学会・集積化MEMS技術研究会 委員・企画
  • 1999 - 2000 (社)応用物理学会・シリコンテクノロジー分科会 幹事
Association Membership(s) (5):
(社)応用物理学会・シリコンテクノロジー分科会 ,  Inc. ,  The Electrochemical Society ,  (社)応用物理学会・集積化MEMS技術研究会 ,  環境資源工学会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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