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J-GLOBAL ID:200901036720841846
Update date: Feb. 14, 2024
Ohtsu Yasunori
オオツ ヤスノリ | Ohtsu Yasunori
Affiliation and department:
Job title:
Associate Professor
Homepage URL (1):
http://www.ee.saga-u.ac.jp/plasma/index.html
Research field (3):
Electrical power engineering
, Basic plasma science
, Applied plasma science
Research keywords (5):
プラズマスパッタリング
, プラズマイオンプロセス
, 高周波プラズマ
, プラズマ理工学
, Plasma Science and Technology
Research theme for competitive and other funds (20):
- 2007 - 新方式プラズマスパッタリング装置の開発
- 2007 - Development of high density uniform sputtering plasma source
- 2006 - プラズマスパッタリングによる高温圧電素子薄膜の高速合成
- 2006 - 大気圧プラズマによるバイオ応用
- 2005 - Bacillus spores sterilization using low temperature oxygen plasma or atmospheric pressure plasma
- 2000 - プラズマCVD法による超撥水性薄膜合成
- 2000 - Production of Dielectric Barrier Discharge Microplasmas at Various Oxides with High Secondary Electron Emission and High Dielectric Constant
- 2000 - Effect of negative pulsed high-voltage-bias on diamond-like carbon thin film preparation using capacitively coupled radio-frequency plasma chemical vapor deposition
- 2000 - Preparation of thin zirconium oxide films prepared by dual frequency oxygen plasma sputtering
- 1998 - プラズマディスプレイパネルの低消費電力化を目指したマイクロプラズマの放電開始電圧の低減
- 1995 - Preparation of ultra water repellent films by plasma CVD
- 1991 - Production of high-density capacitively coupled radio-frequency discharge plasma by high-secondary-electron-emission oxide
- 陶磁器表面への耐摩耗・撥水性膜合成技術開発
- プラズマイオンプロセスを用いた高密着性硬質炭素膜合成技術開発
- プラズマスパッタリングを用いた陶磁器用耐摩耗・撥水性薄膜合成
- プラズマイオンを用いた高密着性硬質炭素膜合成
- 放電プラズマによる光源に関する研究
- プラズマプロセシングに関する研究
- Study on Light Source with Discharge Plasma
- Study on Plasma Processing using capacitively coupled RF palsma
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Papers (114):
-
Yasunori Ohtsu, Masaya Takasaki, Julian Schulze. Spatial structure of radio-frequency capacitive discharge plasma with ring-shaped hollow electrode using Ar and O2 mixture gases. 2019. 52. 35
-
Md. Amzad Hossain, M. A. Majed Patwary, M. M. Rahman, Bhuiyan, Yutaro, Nakamura, Kosei Sugawara, Yasunori Ohtsu. Observation of ring-shaped pulsed DC discharge plasma source using single pole magnet setups for material processing. 2019. 174. 5-6
-
Yasunori Ohtsu, Yusuke Takada, Kosei Sugawara, Yuki Fujio, Tatsuo Tabaru. Treatment of a polycarbonate plate for a next-generation vehicle window by radio frequency magnetron plasma sputtering using a PVDF target. 2019. 58. SE
-
Md. Amzad Hossain, Yasunori Ohtsu, Tatsuo Tabaru. Performance of a Gyratory Square-Shaped Capacitive Radio Frequency Discharge Plasma Sputtering Source for Materials Processing. PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING. 2017. 37. 6. 1663-1677
-
Takashi Sumiyama, Takaya Fukumoto, Yasunori Ohtsu, Tatsuo Tabaru. Spatial structure of radio frequency ring-shaped magnetized discharge sputtering plasma using two facing ZnO/Al2O3 cylindrical targets for Al-doped ZnO thin film preparation. AIP ADVANCES. 2017. 7. 5. 055310-1-055310-8
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MISC (119):
Patents (2):
Books (9):
-
Development of Novel RF Sputtering Plasma Source and Preparation of Al-Doped ZnO Thin Films for Transparent Conductive Oxide Applications
2019
-
Physics of High-Density Radio Frequency Capacitively Coupled Plasma with Various Electrodes and Its Applications
2019
-
Physics of High-Density Radio Frequency Capacitively Coupled Plasma with Various Electrodes and Its Applications
IntechOpen 2019
-
「超撥水・超撥油・滑液性表面の技術」
サイエンス&テクノロジー 2016
-
精密加工と微細構造の形成技術
技術情報協会 2013
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Lectures and oral presentations (238):
-
Production of double ring-shaped magnetized radio-frequency hydrogen high-density plasma
(2019)
-
次世代自動車窓材プラスチック板への撥水性薄膜合成のための高周波マグネトロンスパッタ装置の開発
(2019)
-
アルゴン・酸素混合ガスを用いた高周波ホロー陰極放電プラズマの生成と分光特性
(2019)
-
ターゲット利用率向上 を目的とした回転迷路型 RF マグネトロンスパッタ装置の開発 とその評価
(2019)
-
Characteristics of Aluminum doped zinc oxide film prepared using RF magnetized plasma sputtering source with square-shaped magnet setup
(2019)
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Works (3):
-
ECRマイクロ波プラズマ中のイオンエネルギー分布計測に関する研究
2001 - 現在
-
臭素回収方法およびその装置
2010 - 2010
-
オゾン発生方法および装置
2003 - 2003
Education (4):
- - 1991 Saga University
- - 1991 Saga University Graduate School, Division of Science and Engineering
- - 1989 Saga University Faculty of Science and Engineering
- - 1989 Saga University Faculty of Science and Engineering
Professional career (2):
- (BLANK) (Saga University)
- (BLANK)
Work history (10):
- 2015/01 - 現在 Saga University Courses of Science and Engineering
- 2002 - 2007 Saga University Faculty of Science and Engineering
- 2007 - - 准教授(職名変更)
- 1997 - 2002 Saga University Faculty of Science and Engineering
- 1997 - 2002 Lecturer, Faculity of Science and Engineering,
- 2002 - - Associate Professor, Faculity of Science and
- 1991 - 1997 Saga University Faculty of Science and Engineering
- 1991 - 1997 Research Associate, Faculity of Science and
- Saga University
- Engineering, Saga University
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Committee career (26):
- 2015/04 - 現在 電気学会 論文委員会幹事
- 2009/10 - The members of the International Advisory Committee for the Plasma and Spectroscopy section of the Journal of Advanced Research in Physics, Al I Cuza University of Iasi, Romania
- 2009/08 - Committee Members of the Sixth Asia-Pacific International Symposium on the Basic and Application of Plasma Technology (APSPT-6) December 14-16, 2009 Hsinchu, Taiwan, R.O.C
- 2009 - IEEE 正員
- 2009 - 平成21年8月~ Committee Members of the Sixth Asia-Pacific International Symposium on the Basic and Application of Plasma Technology (APSPT-6) December 14-16, 2009 Hsinchu, Taiwan, R.O.C
- 2009 - IEEE Member
- 平成21年10月~The members of the International Advisory Committee for the Plasma and Spectroscopy section of the Journal of Advanced Research in Physics, Al I Cuza University of Iasi, Romania
- 平成21年9月~平成22年9月 第71回応用物理学会学術講演会実行委員(長崎大学開催)
- 平成21年8月3日~平成23年3月31日 NEDO技術委員(研究評価委員会「次世代大型消費電力プラズマディスプレイ基盤技術開発分科会」委員)
- 平成21年4月~平成22年3月 平成21年度(独)科学技術振興機構・「地域科学技術理解増進活動推進事業 地域活動支援」神埼市教育委員会採択、連携機関講師、
- 平成20年12月~平成21年3月 平成20年度広域連携事業調査」委員会(半導体)委員
- 平成20年4月~平成21年3月 平成20年度(独)科学技術振興機構・「地域科学技術理解増進活動推進事業地域活動支援」神埼市教育委員会採択、連携機関講師、
- 平成20年4月~平成22年3月 プラズマ・核融合学会代議員
- 平成20年4月~平成23年3月 電気学会プラズマ技術委員会1号委員
- 平成20年4月~平成22年3月 電気学会九州支部協議員
- 平成19年8月~平成20年9月 同国際会議プロシーディングス編集委員担当エディター
- 平成19年8月~平成20年9月 第14回プラズマ理工学に関する国際会議現地実行委員
- 平成19年4月~平成21年3月 日本機械学会環境工学部門P-SCD300大気圧プラズマ流による人間環境保全技術に関する研究分科会委員
- 平成19年4月~平成20年3月 第6回アジア・ヨーロッパプラズマ表面工学に関する国際会議現地実行委員
- 平成19年3月~平成20年3月 文部科学省科学技術政策研究所科学技術動向研究センター専門調査員
- 平成18年4月~ 応用物理学会九州支部理事
- 平成18年1月~平成21年1月 電気学会「メタルスパッタプラズマの高度化」調査専門委員会委員
- 平成16年6月~平成17年5月 プラズマ・核融合学会代議員
- 平成13年4月~平成13年12月 平成13年度応用物理学会九州支部学術講演会現時実行委員
- 平成13年4月~平成15年3月 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会幹事
- 平成11年4月~平成12年1月 応用物理学会プラズマプロセシング研究会実行委員
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Association Membership(s) (7):
America vacuum society
, IEEE
, MRS-J
, プラズマ・核融合学会
, 応用物理学会
, 電気学会
, IEEE
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