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J-GLOBAL ID:200901039341542318   Update date: Sep. 13, 2022

Ono Kouichi

オノ コウイチ | Ono Kouichi
Affiliation and department:
Job title: Professor,Professor
Research field  (4): Aerospace engineering ,  Thin-film surfaces and interfaces ,  Basic plasma science ,  Applied plasma science
Research keywords  (8): マイクロ・ナノ工学 ,  航空宇宙工学 ,  表面界面物性 ,  プラズマ理工学 ,  micro-and nano-engineering science ,  Aeronautical and Astronautical Engineering Science ,  Surface and Interface Science and Technology ,  Plasma Socience and Technology
Research theme for competitive and other funds  (12):
  • 2002 - 2004 先進的プラズマプロセス技術に関する研究
  • 2002 - 2004 先進的プラズマプロセス技術に関する研究
  • 2002 - 2004 ナノサテライトのためのマイクロプラズマスラスターに関する研究
  • 2002 - 2004 Study on Aduanced Plasma Processing Technology
  • 2002 - 2004 Study on Aduanced Plasma Processing Technology
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Papers (142):
MISC (26):
Patents (12):
  • "Magnetically Enhanced Microwave Generation Apparatus"
  • "Ion Beam Generator"
  • "Ion Current Generator System for Thin Film Formation, Ion Implantation, Etching, and Sputtering"
  • "Dry Etching Apparatus"
  • "Ion Source"
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Books (39):
  • プラズマエッチングにおけるナノスケール表面形状揺らぎ (解説)
    プラズマ・核融合学会誌, Vol. 90, No. 7 (2014), pp. 398-404. 2014
  • プラズマナノ加工における表面ラフネスとリップル形成機構 (解説)
    表面科学, Vol. 34, No. 10 (2013), pp. 528-534. 2013
  • 巻頭言 「年頭所感:プラズマ科学とプラズマ応用」 (解説)
    プラズマ・核融合学会誌, Vol. 89, No. 1 (2013), pp. 1-2. 2013
  • High-k 膜のドライエッチング, 「ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術-成膜技術と膜・界面の物性科学-」
    (エヌ・ティー・エス社, 2012) 2012
  • 先端プラズマエッチングプロセスのモデリングと体系化 (解説)
    化学工業, Vol. 61, No. 6 (2010), pp. 457-465. 2010
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Works (2):
  • High-kケント絶縁膜およびメタルケント電極の加工技術開発
    2002 -
  • Research and Development of Plasma Etching Technology for High-k Gate drelectric thin Films and Metal Gate Electrodes
    2002 -
Education (4):
  • - 1978 Kyoto University
  • - 1978 Kyoto University Graduate School, Division of Engineering Department of Aeronautics and Astronautics
  • - 1973 Kyoto University Faculty of Engineering
  • - 1973 Kyoto University Faculty of Engineering Department of Aeronautical Engineering
Professional career (1):
  • Doctor of Engineering (Kyoto University)
Work history (8):
  • 1995 - 1998 三菱電機株式会社先端技術総合研究所主幹研究員
  • 1995 - 1998 Mitsubishi Electric Corporation, Advanced Technology R&D Center, Principal Researcher
  • 1998 - - 京都大学大学院工学研究科教授
  • 1998 - - Kyoto University, Graduate School of Engineering, Professor
  • 1992 - 1995 三菱電機株式会社半導体基礎研究所主任研究員
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Committee career (3):
  • 2000 - 2001 日本航空宇宙学会 関西支部幹事
  • 1996 - 1998 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会副幹事長,幹事長,関西支部幹事
  • 1993 - 1996 電気学会 調査専門委員会幹事
Awards (2):
  • 1997 - 第56回注目発明科学技術庁長官表彰
  • 1995 - 国際純粋応用化学連合(IUPAC : International Union of Pure and Applied Chemistry), 第12回プラズマ化学国際会議(ISPC-12 : 12th International Sympsium on Plasma Chemistry) プラズマ化学賞(Plasma Chemistry Prize)
Association Membership(s) (8):
プラズマ・核融合学会 ,  米国航空宇宙学会(AIAA:American Institute for Aeronautics and Astronautics) ,  日本航空宇宙学会 ,  米国真空学会(AVS : American Vacuum Society) ,  米国物理学会(APS : American Physical Society) ,  電気学会 ,  日本物理学会 ,  応用物理学会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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