Rchr
J-GLOBAL ID：200901041160071920
Update date: Apr. 05, 2020
Ozaki Yoshiharu
オザキ ヨシハル | Ozaki Yoshiharu
Affiliation and department：
Research field (2)：
Measurement engineering
, Optical engineering and photonics
Research keywords (2)：
光応用計測
, Optical Instrumentation
Research theme for competitive and other funds (6)：
MISC (12)：
Patents (8)：
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ドライエッチング装置(日本国特許第1291580,共著)
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パターン形成方法(日本国特許第1657100,共著)
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半導体装置におけるスルーホール部の清浄化方法(日本国特許第1446518,共著)
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Dry-etching System
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Patterning Method
ｍore...
Books (6)：
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ヘクト光学III
丸善出版事業部 2003
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ヘクト光学II
丸善出版事業部 2003
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ヘクト光学I
丸善出版事業部 2002
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Hecht OPTICS I
Maruzen 2002
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システム工学と線形システム理論
内田光鶴圃 1998
ｍore...
Professional career (2)：
- Doctor of Engineering (Osaka Prefecture University)
- Master of Engineering (Osaka Prefecture University)
Association Membership(s) (5)：
日本物理学会
, 日本機械学会
, 計測自動制御学会
, 日本光学会
, 応用物理学会
