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J-GLOBAL ID：200901041991415200
Update date: Jul. 05, 2022
Suzuki Atusi
スズキ アツシ | Suzuki Atusi
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Affiliation and department：
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
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Job title：
Senior Researcher
Homepage URL (1)：
http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=A90455649
Research field (1)：
Basic physical chemistry
Research keywords (5)：
水素化アモルファスシリコン 微結晶アモルファスシリコン 水素化アモルファスゲルマン クラスター
, chemical vapor deposition
, plasma diagnosis
, laser spectroscopy
, gas sensor
Research theme for competitive and other funds (3)：
2003 - 水晶振動子センサーによるガス分析
2003 - 水晶振動子センサーによるガス検出・分析
2003 - Gas analysis using a quartz sensor
MISC (17)：
A Suzuki, A Kurokawa, H Nonaka, S Ichimura. A possible hydrogen sensing method with dual pressure gauges. SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL. 2006. 127. 1. 37-40
鈴木 淳, 黒河 明, 野中 秀彦, 一村 信吾. 2種類の圧力測定素子を用いた水素漏洩検知. 真空. 2005. 48. 7. 448-450
鈴木淳, 黒河明, 野中秀彦, 一村信吾. 二成分濃度測定法における温度・湿度の影響. 真空. 2005. 48. 3. 139-141
Suzuki Atsushi. Effect of Higher Silanes in Silane Plasmas on Properties of Hydrogenated Amorphous Silicon Films. J. J. of Appl. Phys. Part 2, Vol.38 (11B), L1315-L1317, 1999. 1999. 38. 11. L1315-L1317
Atsushi Suzuki, Gautam Ganguly, Akihisa Matsuda. Precursor lifetime estimation by ultraviolet laser modulation of a hydrogenated amorphous silicon growth surface. Applied Surface Science. 1994. 79-80. C. 250-254
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Professional career (1)：
工学博士
Work history (1)：
平成元年4月- 通商産業省 工業技術院 電子技術総合研究所
Association Membership(s) (3)：
日本化学会
, 日本ケイ素化学協会
, 応用物理学会
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For details, see here
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